常见的有机废气处理工艺有：活性炭/棉吸附、生物洗涤吸收、等离子、光催化氧化、冷凝回收、催化燃烧、热力焚烧等。但选择哪种合适有效的处理工艺，就需要根据实际情况进行工艺比选。正常情况下，首先需要考虑废气中的污染成分、产生浓度、废气排放量，其次就是要考虑需要的去除效率，在了解上述两方面的基础上，再考虑采用何种工艺。但具体采用哪种工艺合适，还需要进一步对废气的温度、湿度、污染因子特性(熔点、沸点、易燃易爆性、水溶性、是否含有卤素、黏性)以及非有机性污染因子(如：颗粒物)等，做进一步的分析。同时也要兼顾处理工艺的安全性、经济性以及稳定性等。
催化燃烧一体机是利用贵金属催化剂降低废气中有机物的活化能，使有机物在较低的温度(一般在250～300℃左右，不同成分的有机物，其催化燃烧温度不一样)下发生无焰燃烧。其原理是废气经过催化剂时，先被吸附至催化剂表面，然后在一定的温度下发生催化燃烧，达到净化的目的。目前有机废气处理中常用的催化剂一般为蜂窝状钯金属催化剂和铂金属催化剂，催化燃烧方式有电加热和燃气加热，燃烧类型有直接催化燃烧(CO)和蓄热式催化燃烧(RCO)。催化燃烧一般适用于小风量、高浓度、高温的气态有机物，且废气中不能含有硫、铅、汞、砷及卤素可使催化剂中毒的因子。
由于VOCs废气成分及性质的复杂性和单一治理技术的局限性，在大多数情况下，采用单一技术往往难以达到治理要求，而且也是不经济的。催化燃烧废气处理设备利用不用治理技术的优点，采用组合治理工艺不仅可以满足排放要求，同时可以降低净化设备的运行费用。
国内现在大部分企业都是使用活性炭作为吸附材料。因为活性炭较为符合国内的情况。1、投资成本低：相对于沸石材料来说，活性炭的投资成本比沸石投资成本低，活性炭的价格不足分子筛的五分之一；
2、吸附能力广：活性炭的比表面积是分子筛（沸石）的5在～10倍，活性炭的吸附能力是分子筛5～10倍，而且活性炭的广谱性更强，即活性炭可以吸附的VOC种类比分子筛更多；
但是活性炭作为吸附材料的话，也有缺陷的。
1、安全性能较差，再生热气流温度达到100°C以上时，可能出现热量蓄积着火；
2、通常再生温度低于≦120°C，部分高沸点化合物不能彻底脱附，长期累积会导致其吸附能力下降；
今年来在有机废气治理中采用两种或多种单一净化技术的组合工艺受到了极大的重视，并得到了迅速发展。
现国内两种主流治理工艺：
1、活性炭吸附+热气流吹扫再生+催化燃烧技术。
2、沸石分子筛吸附+热气流吹扫再生+催化燃烧技术。
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